Химический парофазный синтез нитрида бора

В 1979 году Соколовский успешно применил технологию импульсной плазмы для получения пленок кубического нитрида бора (CBN) при низкой температуре и низком давлении. Используемое оборудование простое, а процесс легко реализуемый, поэтому он быстро развивался. Появилось множество методов осаждения из паровой фазы. Традиционно речь идет в основном о термическом химическом осаждении из паровой фазы. Экспериментальное устройство обычно состоит из термостойкой кварцевой трубки и нагревательного устройства. Подложку можно нагреть с помощью нагревательной печи (CVD с горячей стенкой) или высокочастотным индукционным нагревом (CVD с холодной стенкой). Реакционный газ разлагается на поверхности высокотемпературной подложки, и в то же время происходит химическая реакция с образованием пленки. Реакционный газ представляет собой смешанный газ BCl.₃ или B₂H₄и NH₃.