Сравнение лодочек для испарения нитрида бора. Вольфрамовые лодки

Лодочки для испарения нитрида бора и вольфрамовые лодочки: различия и преимущества

Испарительные лодочки широко используются для производства тонких пленок и покрытий во многих отраслях промышленности, таких как электроника, оптика и автомобилестроение. Среди различных материалов, используемых для изготовления испарительных лодочек, наиболее популярными являются нитрид бора (BN) и вольфрам (W). Вот различия и преимущества испарительных лодочек BN по сравнению с традиционными лодочками W.

Прежде всего, BN имеет гораздо более высокую теплопроводность, чем W. Это означает, что испарительные лодочки BN могут передавать больше тепла подложке во время процесса осаждения, что приводит к более быстрой и равномерной скорости осаждения. Кроме того, BN является химически инертным материалом, то есть не вступает в реакцию с испаряемыми материалами или газами, используемыми в вакуумной камере. Это снижает вероятность загрязнения и улучшает стабильность и консистенцию тонких пленок.

Кроме того, испарительные лодки BN имеют более высокую температуру плавления, чем W. BN выдерживает температуру до 2800 градусов, а W плавится при температуре около 3422 градусов. Это означает, что лодочки из BN можно использовать для процессов высокотемпературного осаждения, таких как реактивное распыление и химическое осаждение из паровой фазы с плазмой (PECVD), без риска поломки или деформации лодочки.

Еще одним преимуществом испарительных лодок BN является низкое давление пара. Это означает, что BN не испаряется в процессе осаждения, что снижает вероятность зародышеобразования и улучшает качество и чистоту тонких пленок. Кроме того, BN является нетоксичным материалом, что делает его более безопасным для использования в вакуумной камере.

Таким образом, испарительные лодочки BN имеют несколько преимуществ перед лодочками W, включая более высокую теплопроводность, химическую инертность, более высокую температуру плавления, низкое давление пара и нетоксичность. Эти свойства делают лодочки BN отличным выбором для высокопроизводительного осаждения тонких пленок в различных отраслях промышленности.

Shengyang New Material Co., Ltd. занимается производством продуктов переработки нитрида бора и нитрида бора и может изготовить различные изолирующие керамические детали из нитрида бора в соответствии с потребностями клиентов. Свяжитесь с нами, если необходимо.
Тел.:+8618560961205
Email:sales@zbsyxc.com
WhatsApp:+8613964302243